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          真空的基礎知識
          來源:  發布:2022/8/14 19:52:55

          一、真空及真空度的概念

            在真空技術中,把低于一個大氣壓的氣體狀態,統稱為真空。與正常的大氣相比,這是     一種較稀薄的氣體狀態。

            真空中殘存氣體的稀薄程度就是真空程度的高低,即真空度。

           

          二、真空度的單位

            依據真空度的定義,衡量真空度高低最直接的物理量應是每單位體積中的分子數,但由于歷史和技術上的原因,真空度的高低是用被抽空容器中殘存氣體的絕對壓強來表示的!皦簭姟,是指單位面積容器壁上所承受的壓力,它是目前國際上通用的表示真空度的物理量。1958年第一屆國際技術會議曾建議采用“托”(Torr)作為測量真空度的單位,定義為“1Torr1個大氣壓的1/760”,因1個大氣壓為760mmHg,故Torr可以與mmHg通用。國際單位制(SI)中規定壓強的單位為帕(Pa),帕(Pa)是牛頓/2N/m2)的專門名稱。目前,包括我國在內的許多國家已逐步用Pa取代Torr作為真空壓強的標準基本單位。

            真空度越高,則氣體的壓力越低,爐內氣體分子數目也越少;反之,氣體壓力越高,意味著真空度越低?梢,壓強的大小與真空度的高低成反比。

            在各種文獻中,壓強的單位除了PaTorr外,還有標準大氣壓、bar、kgf/cm2。幾種常見單位之間的換算關系如下。

                1 Torr = 133.3 Pa

                1 Pa = 7.5×10-3 Torr

                1 Torr = 1 mmHg 柱  

                1 Torr = 1/760 大氣壓

           

          三、真空區域的劃分

            真空區域的劃分方法很多,目前,我國將真空區域劃分為:低真空、中真空、高真空和超高真空。各真空區域所對應的真空值分別為:

            低 真 空:105 102 Pa  (7601 Torr)

            中 真 空:102 10-1 Pa  (110-3 Torr)

            高 真 空:10-110-5 Pa  (10-310-7 Torr)

            超高真空: ≤10-5 Pa  (10-7 Torr)

           

            在不同的真空區域內分子運動的物理現象是不同的。離子滲氮是在中低真空中進行的,其壓力范圍通常為71000 Pa。

           

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